다구찌 강건 설계를 통한 자장 여과 아크 소스로 증착된 사면체 비정질 탄소막의 최적화

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Original languageKorean
Pages (from-to)53
Journal한국표면공학회지
Volume54
StatePublished - 2021

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