이산화탄소 감지를 위한 4.26 ?m 필터용 poly Si/SiO2 다층 박막 기반의 패브리 페로-필터

Research output: Contribution to journalArticlepeer-review

Original languageKorean
Pages (from-to)56
Journal센서학회지
Volume30
StatePublished - 2021

Cite this