| Original language | Korean |
|---|---|
| Pages (from-to) | 56 |
| Journal | 센서학회지 |
| Volume | 30 |
| State | Published - 2021 |
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이산화탄소 감지를 위한 4.26 ？m 필터용 poly Si/SiO2 다층 박막 기반의 패브리 페로-필터
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