| Original language | Korean |
|---|---|
| Journal | 한국정밀공학회지 |
| State | Published - 2017 |
직선 이송축의 3자유도 오차 보정을 위한 미세 구동 스테이지 개발및 성능 평가
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
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| Original language | Korean |
|---|---|
| Journal | 한국정밀공학회지 |
| State | Published - 2017 |