200 mm wafer-scale integration of sub-20 nm sacrificial nanofluidic channels for manipulating and imaging single DNA molecules

C. Wang, S. W. Nam, J. M. Cotte, H. Peng, C. V. Jahnes, D. Wang, R. Bruce, M. Guillorn, L. M. Gignac, W. H. Advocate, C. M. Breslin, M. Brink, J. Bucchignano, E. A. Duch, A. Galan, E. Kratschmer, P. J. Litwinowicz, M. F. Lofaro, W. Price, S. M. RossnagelR. D. Goldblatt, E. A. Joseph, D. Pfeiffer, S. Papa Rao, A. Royyuru, G. A. Stolovitzky, E. G. Colgan, Q. Lin, S. PolonskyShow 9 othersShow less