Giant piezoelectricity on Si for hyperactive MEMS

  • S. H. Baek
  • , J. Park
  • , D. M. Kim
  • , V. A. Aksyuk
  • , R. R. Das
  • , S. D. Bu
  • , D. A. Felker
  • , J. Lettieri
  • , V. Vaithyanathan
  • , S. S.N. Bharadwaja
  • , N. Bassiri-Gharb
  • , Y. B. Chen
  • , H. P. Sun
  • , C. M. Folkman
  • , H. W. Jang
  • , D. J. Kreft
  • , S. K. Streiffer
  • , R. Ramesh
  • , X. Q. Pan
  • , S. Trolier-McKinstry
    • D. G. Schlom, M. S. Rzchowski, R. H. Blick, C. B. Eom

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

447 Scopus citations

Fingerprint

Dive into the research topics of 'Giant piezoelectricity on Si for hyperactive MEMS'. Together they form a unique fingerprint.

Engineering

Material Science